A medição de vácuo é um componente importante da tecnologia de vácuo. O instrumento usado para medir o grau de vácuo é chamado de medidor de vácuo.
Os medidores de vácuo comumente usados para fornos a vácuo e fornos de fusão a vácuo incluem medidores de vácuo de termopar, medidores de vácuo de ionização, etc.
(1) Medidor de vácuo termopar
O medidor de vácuo do termopar consiste em componentes sensíveis, medidores de termopar e instrumentos de medição. O tubo medidor do termopar é conectado ao sistema de vácuo testado, com um revestimento externo do tubo de vidro e fios de aquecimento e fios do termopar dentro do tubo. Devido à diferença de temperatura entre as extremidades fria e quente do fio do termopar, é gerado potencial termoelétrico no circuito. Se a tensão do fio de aquecimento permanecer constante, o potencial do fio do termopar será limitado pela temperatura do fio de aquecimento e a temperatura do fio de aquecimento estará relacionada à pressão do gás medido. Baixa pressão, baixa condutividade térmica do gás, menos calor transportado pelo gás, maior temperatura do fio de aquecimento e aumento do potencial termoelétrico do fio do termopar; Pelo contrário, o potencial termoelétrico diminui. O potencial termoelétrico no circuito é medido usando um medidor de milivolts, e os milivolts no medidor refletem o nível de vácuo. Para garantir a estabilidade da tensão do fio de aquecimento, foi conectada uma fonte de alimentação estável. Portanto, o instrumento de medição consiste em um medidor de milivolts para medir o potencial termoelétrico e uma fonte de alimentação estabilizada com fio de aquecimento regulado.
(2) Medidor de vácuo de ionização
Este tipo de medidor de vácuo é usado principalmente para medir altos níveis de vácuo. Em gases fortes e de baixa pressão, o número de íons positivos gerados pela ionização das moléculas do gás é diretamente proporcional à pressão do gás. De acordo com diferentes métodos de ionização, um medidor de vácuo que usa um cátodo quente para emitir elétrons para ionizar o gás é chamado de medidor de vácuo de ionização de cátodo quente; Entre eles, o medidor de vácuo de ionização de cátodo quente consiste em um medidor de cátodo quente e instrumentos de medição. O instrumento de medição consiste em uma fonte de alimentação regulada, um estabilizador de corrente de emissão, um amplificador de medição de corrente iônica e outros componentes. O medidor de ionização de cátodo quente é conectado ao sistema de vácuo testado. Um medidor de ionização de cátodo quente é um transistor com cátodo, porta e coletor dentro. Colete o potencial polar em relação ao potencial eletronegativo catódico; A porta tem um potencial positivo em relação ao cátodo. Quando o medidor de ionização é eletrificado e aquecido, o cátodo emite elétrons, que colidem com as moléculas do gás durante o processo de atingir a porta, resultando na ionização de íons positivos e elétrons. Quando a corrente de emissão é constante, o número de íons positivos por dia é diretamente proporcional à pressão do gás medido. Após os íons positivos serem coletados pelo eletrodo coletor e amplificados pelo circuito de medição, o grau de vácuo a ser medido (forno de caixa) pode ser lido pelo medidor elétrico indicador.
(3) Medidor de vácuo composto
Normalmente, um único medidor de vácuo não pode ser usado para medir vácuo baixo e alto, mas um medidor de vácuo composto deve ser usado, sendo mais comumente usados medidores de vácuo compostos de ionização e termopar. Sua faixa de medição é 13,33-666,6 × 10-8Pa. Medição de baixo vácuo em (10-10-10-3) x 133,32Pa usando um vacuômetro termopar; O medidor de vácuo de ionização mede um alto vácuo de 133,32 × 10-3-666,6 × 10-8Pa. O medidor de vácuo composto é equipado com um medidor de termopar e um medidor de ionização, que são conectados respectivamente ao sistema de vácuo. Os dois medidores podem ser aquecidos separadamente por um botão e podem ser selecionados para uso.